// Röntgenfluoreszenzanalyse (RFA)

Die Röntgenfluoreszenzanalyse (RFA) ist eine Standardmethode zur schnellen und zerstörungsfreien Bestimmung von Schichtdicken und Elementzusammensetzungen von Festkörpern und Flüssigkeiten. Beide können an einzelnen Punkten oder als Homogenitätsverteilung auf einer Fläche von bis zu 30 x 30 cm2 bestimmt werden. Die Messsignale stammen bei der RFA aus einer Tiefe von mehreren Mikrometern.

Die Fragestellungen zur chemischen Zusammensetzung und Struktur von Oberflächen, dünnen Schichten und kompaktem Material erfordern häufig den kombinierten Einsatz von Röntgenfluoreszenzanalyse, oberflächenanalytischen Methoden und der Rasterelektronenmikroskopie mit EDX. Aufgrund unserer langjährigen Erfahrung bei der Analyse von Halbleitern, Metall-Legierungen, Kunststoffen, Keramiken, beschichteten Gläsern, Verbundwerkstoffen und anderen Materialien können wir uns rasch auch auf Ihre speziellen Anforderungen einstellen.

Anwendungsgebiete

  • Elementzusammensetzung fester und flüssiger Stoffe
  • Bestimmung von Verunreinigungen
  • Schichtdickenmessung
  • Zusammensetzung von Einzelschichten
  • Charakterisierung von Schichtsystemen (z. B. Dünnschichtsolarzellen)
  • Elementverteilungsanalysen mit lateraler Auflösung bis 100 Mikrometer

Ausstattung

  • Energiedispersives Röntgenfluoreszenzspektrometer EAGLE XXL

Beispiele

  • CIGS-Solarmodul: Übersichtspektrum
  • CIGS-Solarmodul (30 cm x 30 cm)
  • Ortsaufgelöste [Ga]/[Ga+In]-Verhältnisse und Schichtdicken
  • Nachweis von Messing  

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Ansprechpartner

Dr. Theresa Friedlmeier
+49 (0)711 78 70-293
RFA-System Eagle XXL am ZSW