// Rasterelektronenmikroskopie und energiedispersive Röntgenmikroanalyse (REM/EDX)

Das ZSW verwendet ein hochauflösendes Rasterelektronenmikroskop (HREM) mit Schottky-Feldemissionskathode, das dem neuesten Stand der Technik entspricht. Das HREM ermöglicht die Abbildung der Oberflächenbeschaffenheit (Morphologie) von Materialien und wird am ZSW insbesondere zur Untersuchung sehr dünner Materialschichten im Mikro- bis Nanometer-Bereich eingesetzt. Die Anwendungsgebiete des Verfahrens reichen von der Materialforschung und Werkstoffentwicklung bis zur Qualitätssicherung und Schadensanalyse.

Über die reine Abbildung von Oberflächen hinaus bietet das Elektronenmikroskop außerdem die Möglichkeit, die Elementzusammensetzung in der Probe qualitativ oder quantitativ zu detektieren. Für diese so genannte energiedispersive Röntgenmikroanalyse (EDX) ist am HREM ein zusätzlicher Röntgendetektor angeschlossen.

Anwendungsgebiete

  • Morphologie und chemische Zusammensetzung von Oberflächenbeschichtungen
  • Schichtdicke und Schichtaufbau
  • Kornstruktur, Korngrößen und Bruchflächen von Metallen, Halbleitern, Keramiken
  • Laterale Elementverteilungsbilder
  • Größe und Art von Einschlüssen, Prezipitäten und Fremdphasen in dünnen Schichten
  • Form, Größe und chemische Zusammensetzung von Partikeln, Abriebteilchen, Rückständen, Belägen
  • Porosität von Membranen
  • Schadensursachen (durch Abrieb, Korrosion, Abbrand, Verschweißen, mechanisches Versagen)

Ausstattung

  • Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop XL30 SFEG "Sirion" von FEI Company
  • EDX-Röntgendetektor 129 eV Auflösung mit Mikroanalysensystem VANTAGE DI von NORAN

Beispiele/Downloads

  • Hochauflösendes Rasterelektronenmikroskop (HREM)
  • Energiedispersive Röntgenmikroanalyse (EDX)

Ansprechpartner

Dr. Theresa Friedlmeier
+49 (0)711 78 70-293
HREM-Aufnahme einer Cadmiumsulfid-Pufferschicht auf dem CIGS-Absorber